精準剔除“瑕疵” 提升良品率

　　激光退火儀在國內首條量子芯片生產線上投入使用

　　科技日報訊 (記者吳長鋒)記者日前從安徽省量子計算工程研究中心獲悉，國內首個專用于量子芯片生產的MLLAS—100激光退火儀已研制成功，可解決量子芯片位數(shù)增加時的工藝不穩(wěn)定因素，像“手術刀”一樣精準剔除量子芯片中的“瑕疵”，增強量子芯片在向多比特擴展時的性能，從而進一步提升量子芯片的良品率。

　　據(jù)了解，該激光退火儀由合肥本源量子計算科技有限責任公司(以下簡稱本源量子)完全自主研發(fā)，可達到百納米級超高定位精度，對量子芯片中單個量子比特進行局域激光退火，從而定向控制修飾量子比特的頻率參數(shù)，解決多比特擴展中比特頻率擁擠的問題，助力量子芯片向多位數(shù)擴展。

　　“我們在量子芯片生產過程中，會通過量子芯片的‘火眼金睛’——無損探針儀來發(fā)現(xiàn)量子芯片的優(yōu)劣，對于其中的‘壞品’‘次品’，會采用激光退火儀去處理其存在的問題，就像是醫(yī)生做手術一樣，這把‘手術刀’能夠‘對癥下藥’，改善其中‘不良’部分，從而提高量子芯片的品質?！卑不帐×孔佑嬎愎こ萄芯恐行母敝魅钨Z志龍說，之前發(fā)布的量子芯片無損探針儀和這臺量子芯片激光退火儀都屬于量子芯片工業(yè)母機，前者是發(fā)現(xiàn)問題，后者是解決問題，它們之間相互配合，才能夠生產出更高質量的量子芯片。

　　中國科學技術大學教授郭國平介紹，量子計算機是具有重要戰(zhàn)略價值的國之重器，被喻為“信息時代原子彈”。代表量子計算機能力水平的一個重要參數(shù)是它的量子比特位數(shù)，量子比特位數(shù)越高，其計算能力越強。

　　“為了解決更高位數(shù)量子計算機中的多比特量子芯片生產問題，我們自主研發(fā)了該設備?！辟Z志龍表示，這臺激光退火儀擁有正向和負向兩種激光退火方式，可以在生產過程中靈活調節(jié)多比特超導量子芯片中量子比特的關鍵參數(shù)。同時，該設備還可用于半導體集成電路芯片、材料表面局域改性處理等領域，目前已在國內第一條量子芯片生產線上投入使用。

　　據(jù)悉，本源量子是中國第一家量子計算公司，擁有國產首個工程化超導量子計算機，一直致力于超導與硅基半導體兩條產線工藝的量子計算芯片的研發(fā)，目前已建設全國第一條量子芯片生產線，發(fā)布國內首個量子芯片設計工業(yè)軟件“Q—EDA”本源坤元，進一步實現(xiàn)我國量子芯片的自主研發(fā)及產業(yè)化，助力我國在全球新一輪量子計算競爭中搶占先機。(科技日報)